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平面度误差测量的常用方法有如下几种：平晶干涉法：用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。
表面粗糙度和平面度不是一个概念。他们之间没有特殊的联系。表面粗糙度是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度 。其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下），它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小，则表面越光滑。平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。
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